利来老牌国际官网app

产物系列
利来app旗舰(中国区)_利来集团官网
  • 产物介绍
  • 产物特点
产物名称

PF-300T Astra
12英寸 PEALD设备


产物介绍

PF-300T Astra 系列是我公司自主研发的原子层沉积（Atomic Layer Deposition）设备 ，可配置3个2站的反映腔 ，现已应用于先进的芯片制造及先进封装（TSV）领域 ，同时针对先进制程前道工艺（FEOL）进行研制开发 。现可提供具有高质量的PEALD SiO2、SiN薄膜等 。


 
  • 微信公众号
COPYRIGHT 2025 利来老牌国际官网app All RIGHTS RESERVED. 辽ICP备05007152号-1
网站地图